【摘 要】
：
本文设计了一种新型硅基ＭＥＭＳ集成光强调制型光波导加速度传感器，在同一硅片上集成了分束器、悬臂梁、质量块、光波导、光探测器等元件，解决了光纤传感器向微型化发展时遇到的装配困
论文部分内容阅读
本文设计了一种新型硅基ＭＥＭＳ集成光强调制型光波导加速度传感器，在同一硅片上集成了分束器、悬臂梁、质量块、光波导、光探测器等元件，解决了光纤传感器向微型化发展时遇到的装配困难及长期稳定性差等问题，讨论了利用现有工艺在硅基片上实现ＭＥＭＳ集成光波导加速度传感器的可行性。
In this paper, a new type of silicon-based MEMS integrated light intensity modulation optical waveguide acceleration sensor is designed. Components such as beam splitter, cantilever, mass, optical waveguide and light detector are integrated on the same silicon, which solves the problem that the optical fiber sensor Miniaturized development encountered assembly difficulties and poor long-term stability problems, discusses the use of existing technology in the silicon substrate to achieve MEMS integrated optical waveguide acceleration sensor feasibility.
其他文献
【目的】了解黑胸散白蚁Reticulitermes chinensis Snyder末龄若虫的蜕皮羽化行为。【方法】室内恒温（26±0.5）℃恒湿（75%±5%）饲养黑胸散白蚁末龄若虫,间隔一定时间进行
甘露聚糖结合凝集素(mannan-binding lectin,MBL)系哺乳动物C型凝集素超家族中胶凝素家族的成员,是主要由肝细胞分泌的血浆糖蛋白。作为天然免疫系统的重要成份,MBL是补体凝
纤维增强复合树脂(fiber reinforced composite,FRC)材料是一种全新的口腔修复材料,具有低密度、高强度、高模量、耐腐蚀等优点,它由纤维和树脂组成。常用的纤维有碳纤维、芳
美国作为当今世界教育体制最为完备与发达的国家,其高校的新闻教育正全面而深刻地影响着新闻教育模式和世界传媒动向。中国传媒要以开放的心态积极参与全球
As the most com
近日,方圆产品顺利进入南苏丹并在其首都朱巴蓝宝石酒店施工,得到施工方的赞誉。据了解,施工酒店高56m,是当地最高的大楼。该项目共使用了方圆集团HBTS60-16-181型混凝土泵一
用组织工程血管来解决临床血管替代物短缺具有广阔的发展前景。本文采用猪颈总动脉脱细胞支架和家犬胸主动脉平滑肌细胞和内皮细胞构建生物化组织工程血管,并对其形态结构、
【目的】为了确定小果叶下珠Phyllanthus microcarpus与叶下珠头细蛾Epicephala sp.之间专性互利共生系统稳定性的增强是否主要通过彼此之间相互遏制对方对自身进行过度开采
2007年4月中旬,《史海波画展》在北京民族文化宫举办。中国美协原党组书记雷正民为其题词。民族文化宫党委书记齐宝和、主任董文良、副主任李铁柱出席了开幕式。
In mid Apr
医用加速器机房防护门外一般为患者候诊区，属于人群高居留场所，其放射防护安全普遍引起人们的关心。对低能量加速器，防护门屏蔽设计仅需考虑对X射线的防护，但对于高能量加速器，不
利用采自北京延庆的甘蓝枯萎病病原FGL③-6对117份甘蓝自交系材料进行抗性鉴定,共获得47份抗病材料,其中高抗材料37份。对其抗性表现与地理来源、球型及叶色的关系进行分析,