漂移区为线性掺杂的高压薄膜SOI器件的研制

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：heliuer

【摘要】

：

给出了漂移区为线性掺杂的高压薄膜SOI器件的设计原理和方法.在Si膜厚度为0.15μm、隐埋氧化层厚度为2μm的SOI硅片上进行了LDMOS晶体管的制作.首次对薄膜SOI功率器件的击穿

【作者】

：

张盛东韩汝琦

【机构】

：

北京大学微电子学研究所,香港科技大学电机电子工程系

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

薄膜SOI 高压 LDMOS 线性掺杂

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

给出了漂移区为线性掺杂的高压薄膜SOI器件的设计原理和方法.在Si膜厚度为0.15μm、隐埋氧化层厚度为2μm的SOI硅片上进行了LDMOS晶体管的制作.首次对薄膜SOI功率器件的击穿电压与线性掺杂漂移区的杂质浓度梯度的关系进行了实验研究.通过对漂移区掺杂剂量的优化，所制成的漂移区长度为50μm的LDMOS晶体管呈现了高达612V的击穿电压.

其他文献

Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyur

制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料．旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要

期刊

调制器聚合物脊形波导

膜联蛋白A1在肿瘤发生发展中的作用

恶性肿瘤的发生、发展、浸润及转移是一个非常复杂的过程，涉及多种因素的参与，其中一些生物因子发挥了关键的作用。膜联蛋白A1的表达在不同肿瘤组织中是有差异的，其异常表达可能

期刊

膜联蛋白A1肿瘤信号通路肿瘤标志物

TGF-β1在非小细胞肺癌中的研究进展

转化生长因子-β（ transforming growth factor-β， TGF-β）是新近发现的具有多种生物学功能的生长因子超家族，在调节细胞生长和分化过程中起重要作用。近年来，许多学者在研究中发

期刊

非小细胞肺癌转化生长因子-β癌变机制靶向治疗

非小细胞肺癌预防性脑照射的研究进展

小细胞肺癌（ small cell lung cancer，SCLC）的预防性脑照射（ prophylactic cranial irradiation，PCI）的效果已经明确，而非小细胞肺癌（ non-small cell lung canc-er，NSCLC）的脑转移率也

期刊

非小细胞肺癌脑转移放疗

Systematic Characterization of Cell Cycle Phase-dependent Protein Dynamics and Pathway Activities by

Cell cycle progression is coordinated with metabolism, signaling and other complex cel-lular functions. The investigation of cellular processes in a cell cycle

期刊

hiMACNon-invasive cell cycle assayCell cycle profilingDNA damage markersImag

Expression Profiling and Structural Characterization of MicroRNAs in Adipose Tissues of Hibernating

MicroRNAs (miRNAs) are small non-coding RNAs that are important in regulating metabolic stress. In this study, we determined the expression and structural chara

期刊

Non-coding RNADicerGround squirrelStress adaptationHypometabolism

新型置换法制备Ni涂覆SiC颗粒

应用自行设计的新型化学涂层工艺（置换法），对粉末表面进行预处理后，采用自配亲水性溶液对被涂颗粒（SiC）进行表面预处理，改善了涂层金属与颗粒基体的结合状况，与未经亲水性处理的普通

期刊

化学涂层置换法涂层粉末表面活性剂表面形状因子

CORBA组件运行和开发环境研究

提出了一个符合通用请求代理体系结构（CORBA）规范的软件组件运行环境的设计，作为CORBA组件的运行时刻支持平台．它独立于软件组件，负责组件的装入、管理和调度等工作．在研究中，采用当

期刊

软件组件通用对象请求代理运行环境组件生存周期

翼型在自适应壁风洞中试验时的侧壁边界层三元效应研究

二元翼型试验时模型安装于侧壁转盘上会引起侧壁边界层三元效应，中国航空研究院西北工业大学和德国宇航院哥廷根流体力学研究所合作用计算和试验方法进行了研究。作者介绍了19

期刊

自适应壁风洞翼型试验边界层效应洞壁干扰

低相对湿度气相中水泥熟料单矿物的水化

研究了水泥熟料单矿物C3S,β-C2S和C3A在40℃封闭气相中的水化情况,其中,气相相对湿度变化范围为85.0%～99.0%.结果表明:C3S在气相中水化能力比较弱,在高相对湿度(RH＞97.5%)气相

期刊

水泥熟料单矿物水化相对湿度封闭气相

漂移区为线性掺杂的高压薄膜SOI器件的研制

与本文相关的学术论文