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用有限差分法求解相互耦合的电流连续方程导热方程，对硅锥阴极的电热状态进行了数值模拟。模拟中采用了与温度、电场相关电导率模型。模拟的表明，锥体顶端的电位变化比较突出，在较小的电流下其内部电场即可以达到临界场强，使载流子漂移速度开始饱和，并表现出饱和的发射特性。在尖锥顶端内部电场达到监界场强直至发生碰撞电离时，温升不显著。