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一种采用平行双圆柱体定位、０．６３２８μｍ双纵模Ｈｅ－Ｎｅ激光绝对测距干涉仪测长，适用于直径为数米至数十米范围的小型大内径测量装置。该装置测量不确定主约为１０＾－６量级。
用双圆柱体测量大内径的定位方法及误差分析
【摘 要】
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一种采用平行双圆柱体定位、０．６３２８μｍ双纵模Ｈｅ－Ｎｅ激光绝对测距干涉仪测长，适用于直径为数米至数十米范围的小型大内径测量装置。该装置测量不确定主约为１０＾－６量级。
【机 构】
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东南大学机械系,清华大学精仪系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1996年3期
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