【摘 要】
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金属蒸汽真空弧放电能够产生高密度的金属等离子体．通过二或三电极引出系统，可以把金属等离子体中的金属离子引出，并加速成为载能的金属离子束，这是MEVVA离子源技术．将载能离子束
【机 构】
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射线束技术与材料改性教育部重点实验室、北京师范大学核科学与技术学院、北京市辐射中心
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金属蒸汽真空弧放电能够产生高密度的金属等离子体．通过二或三电极引出系统，可以把金属等离子体中的金属离子引出，并加速成为载能的金属离子束，这是MEVVA离子源技术．将载能离子束用于离子注入，可以实现材料表面改性．经过MEVVA源离子注入处理的工具和零部件，改性效果显著，因此MEVVA离子源在离子注入材料表面改性技术中得到很好的应用．另一方面，利用弯曲磁场把等离子体导向到视线外的真空靶室中的同时，过滤掉真空弧产生的液滴（大颗粒），当工件加上适当的负偏压时，等离子体中的离子在工件表面沉积，可以得到高质量的、平整
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