【摘 要】
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Ⅲ-Ⅴ族GaN基材料和器件的外延层选择生长在蓝宝石衬底上,主要是蓝宝石衬底具有高稳定性,其生产技术成熟以及机械强度高,易于处理和清洗等优点,该行业已进入大尺寸量产及高精
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Ⅲ-Ⅴ族GaN基材料和器件的外延层选择生长在蓝宝石衬底上,主要是蓝宝石衬底具有高稳定性,其生产技术成熟以及机械强度高,易于处理和清洗等优点,该行业已进入大尺寸量产及高精度制造的品质要求,故蓝宝石衬底应用到自动化检验设备是必然发展的趋势。自动化检测技术满足了蓝宝石衬底的广泛检测项目和要求,为衬底制造业的品质和效率作保障。本文介绍蓝宝石衬底应用自动化检测技术,探讨检测技术与自动化装置在制造业上的作用意义,以及自动化检测分类应用。
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