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简述了目前多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术的难点,重点描述了氯硅烷精制方法,主要包括精馏法、反应法、吸附法以及它们的组合,如反应-精馏法、吸附-精馏法等.对各种方法进行分类与讨论,并指出了现存方法的优缺点.最后展望了各种方法的应用前景.
多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术研究进展
【摘 要】
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简述了目前多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术的难点,重点描述了氯硅烷精制方法,主要包括精馏法、反应法、吸附法以及它们的组合,如反应-精
【机 构】
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天津大学化工学院
【出 处】
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现代化工
【发表日期】
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2013年11期
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