【摘 要】
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对研制的 VCSEL 结构外延片制成的谐振腔增强型 (简称 RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究 ,由于 VCSEL 与 RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同 ,通过腐蚀 VC
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室!北京100083,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室!北京100083,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室!北
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对研制的 VCSEL 结构外延片制成的谐振腔增强型 (简称 RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究 ,由于 VCSEL 与 RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同 ,通过腐蚀 VCSEL 器件顶部 DBR,改变顶镜反射率 ,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的 RCE光电探测器 ,实现 VCSEL 与 RCE探测器的单片集成 .
The physical analysis and experimental research on the resonator-enhanced (RCE) photodetector made of VCSEL structure epitaxial wafers has been carried out. Because of the different requirements on the reflectivity of the resonator mirrors by the VCSEL and RCE photodetectors, the VCSEL The top of the device, the DBR, alters the top reflector reflectivity and delivers an RCE photodetector optimized for both peak and half-width quantum efficiency for monolithic VCSEL and RCE detectors.
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