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探讨了U薄膜的制备方法.主要介绍了机械抛光、电解抛光、机械轧制、磁控溅射沉积、离子束辅助沉积和聚焦离子束方法等,涉及了精细U薄膜的制备要求.同时,简要介绍了防止U薄膜氧化的后处理手段.
U薄膜制备方法
【摘 要】
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探讨了U薄膜的制备方法.主要介绍了机械抛光、电解抛光、机械轧制、磁控溅射沉积、离子束辅助沉积和聚焦离子束方法等,涉及了精细U薄膜的制备要求.同时,简要介绍了防止U薄膜
【机 构】
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中国工程物理研究院
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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2005年8期
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