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利用能量为1.7MeV,注量分别为1.25×1013/cm2,1.25×1014/cm2,1.25×1015/cm2的电子束辐照VO2薄膜,采用XPs,XRD等测试手段对电子辐照前后的样品进行分析,并研究了电子辐照对样品相变过程中光透射特性的影响.结果表明电子辐照引起VO 2薄膜中V离子出现价态变化现象,并使薄膜的X射线衍射峰发生变化.电子辐照在样品中产生的这些变化显著改变了VO2薄膜的热致相变光学特性.