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基于2013—2017年中国28个省(区、市)高技术产业的面板数据,在以增强型罗素测量模型测度高技术产业技术创新效率的基础上,运用核密度估计和泰尔指数对效率进行系统分析。结果表明:中国高技术产业技术创新活动的综合效率处于较低水平;纯技术效率呈东、中、西和东北阶梯下降,规模效率呈东北、西、中和东阶梯下降;综合效率总体分布密度曲线随时间右移且右拖尾特征明显;区域内部效率差异是造成地区间效率差异的主要原因;纯技术效率和规模效率在统计上显著负相关;样本期间,高技术产业技术创新活动整体规模报酬不佳,每年处于规模报酬