【摘 要】
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新近我们试验成功了一种复型碳膜的制取方法,并对其在表面复型样品制备中的应用作了探索、研究,取得了一定的结果.因这一方法是基于辉光离子溅射原理的,故称之为溅射喷碳.本
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新近我们试验成功了一种复型碳膜的制取方法,并对其在表面复型样品制备中的应用作了探索、研究,取得了一定的结果.因这一方法是基于辉光离子溅射原理的,故称之为溅射喷碳.本文着重介绍溅射喷碳的技术关键及其在电镜样品制备中的实用价值.
Recently, we succeeded in a successful trial of a complex carbon film preparation method, and its application in the surface complex sample exploration made some research, and achieved certain results.Because this method is based on glow ion sputtering Shot principle, it is called sputtering carbon spraying.This article focuses on the sputtering key technology and its application in electron microscopy sample preparation of practical value.
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