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本文介绍了用8.8MeV氦离子弹性散射测定Y-Ba-Cu-O超导薄膜元素配比的一种新方法。由于在8.8MeV时~(16)O(α,α)~(16)O非卢瑟福共振散射截面比卢瑟福弹性散射截面大25倍,因而一次测量即能得到Y-Ba-Cu-O全部元素的配比。本方法也适用于Bi-Sr-Ca-Cu-O和Tl-Ba-Ca-Cu-O等其它超导体系元素配比的测定。