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本文提出了一种简单而可行的数字位相分析新方法,适用于在激光数字波面干涉仪上进行高精度光学面形的实时绝对检测。用这种方法已建立了表面精度为λ/50峰谷值的标准光学平面,测量精度达λ/100以上。
标准光学面形的建立与绝对检测
【摘 要】
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本文提出了一种简单而可行的数字位相分析新方法,适用于在激光数字波面干涉仪上进行高精度光学面形的实时绝对检测。用这种方法已建立了表面精度为λ/50峰谷值的标准光学平面
【机 构】
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浙江大学光学工程系,浙江大学光学工程系
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1989年4期
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