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采用射频溅射法在锗衬底下沉积无定形碳氮膜（ａ－Ｃ：Ｎ）用Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ），傅立叶变换红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）和喇曼光谱（ＲＳ）分析了膜了成分与结构。结果表明，氮是以化学键的形式存在于膜中，且有三种不同的ＣＮ键合状态，随着反应气体中氮气分压的增加，ａ－Ｃ：Ｎ膜中氮浓度增加，Ｃ＝Ｎ键的含量增加。