【摘 要】
：
研制了一种以SiO2材料作为温度补偿层的S波段温度补偿型薄膜体声波谐振器（FBAR）窄带滤波器。研究了SiO2层厚度对FBAR温度漂移特性的影响,对不同厚度SiO2层时的温度补偿特性进行
【机 构】
：
石家庄学院机电学院,中国电子科技集团公司第十三研究所,
论文部分内容阅读
研制了一种以SiO2材料作为温度补偿层的S波段温度补偿型薄膜体声波谐振器（FBAR）窄带滤波器。研究了SiO2层厚度对FBAR温度漂移特性的影响,对不同厚度SiO2层时的温度补偿特性进行了仿真。仿真结果表明,当Mo/Al N/Mo的厚度为0.15,1.35和0.15μm,SiO2层的厚度为10 nm时,FBAR的频率温度系数（TCF）约为3×10-6/℃。采用MEMS工艺制备了温度补偿型FBAR滤波器芯片并进行了测试。测试结果表明,滤波器的中心频率为2 492 MHz,中心插损为3.74 dB,3 dB带宽为17 MHz,相对带宽为0.68%,在2 477和2 507 MHz处阻带抑制分别为27.44和33.81 dBc。在三温（常温25℃、高温85℃、低温-55℃）对该滤波器的S参数进行了测试,计算得出频率温度系数为5×10-6/℃。与未加入温度补偿层的传统滤波器相比,频率温度系数改善明显。
其他文献
绩效评价作为引导高校人才合理流动的重要工具,其理性态度的恰当运用,在高校人才战略发展过程中呈现出紧迫性和必要性。绩效评价既要注重工具理性指导的量化设计,也要通过补
将相变传热管应用于锅炉省煤器中,能有效地实现节能降耗。但是,相变传热热管表面在使用过程中易产生结垢等层状堆积,且会迅速长大,最终堵塞热管的传热,导致热管发生爆管。为
目的探讨血管内皮生长因子(VEGF)在子宫肌瘤发生发展中的表达及其意义。方法选取60例子宫肌瘤患者的临床资料进行研究。利用超声监测患者子宫肌瘤数量和径线值。手术过程中取
北洋政府时期，袁世凯也曾举行过几届“国考”．主要是选拔县知事，这项活动被称为“县知事试验”。是现代文官考试的首次尝试，演绎了许多耐人寻味的故事。
约翰·厄普代克是二十世纪后半叶美国最重要、最多产和获奖最多的作家之一。在其著名的短篇小说《A＆P》中,他创造出了萨米——这个与传统骑士文学中骑士形象大相径庭的新
通过文献研究,对美国陆军水上生存训练进行分析,发现美国陆军水上训练内容科学、要求严格、实用性强,我军水上生存训练与美军训练存在一定的差距。针对我军水上生存训练存在
<正>3月24日,山东省编办在济南召开全省综合行政执法体制改革暨清理僵尸事业单位工作座谈会,省编办巡视员孙书恒出席会议,各市编办分管主任、业务科(处)长参加。会议听取了各
随着垃圾焚烧技术的广泛应用,垃圾焚烧飞灰中重金属污染问题日益严重。介绍了目前焚烧垃圾飞灰的处理方法、研究进展和发展方向。
本文就应用“军字一号”工程后，如何加强网络数据质量的监控机制、完善数据质量监控体系、全方位提高数据质量等方面进行探讨，初步形成了控制各个环节数据质量缺陷的发生，确保网
以典型钢筋混凝土框架结构校舍为研究对象,运用SAP2000有限元分析软件,研究了典型钢筋混凝土框架校舍局部构件的加固对结构整体性能(包括整体框架静力抗侧刚度、整体框架动力