【摘 要】
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镍铬合金薄膜是重要的精密电阻和应变电阻薄膜材料。简述了镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备
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镍铬合金薄膜是重要的精密电阻和应变电阻薄膜材料。简述了镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。重点叙述了镍铬合金薄膜、改良型镍铬合金膜、含氯镍铬合金膜、镍铬合金多层膜和纳米镍铬合金薄膜等膜系的特征。阐明了制备具有高电阻率、低电阻温度系数、高应变灵敏系数、良好的热稳定性等优异综合性能的镍铬合金薄膜的新工艺发展趋势。
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