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用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米Ti膜，扫描隧道显微镜（STM）的观察结果表明，初期膜是由直径小于2nm的形核粒子和粒子团聚体组成，粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构，随薄膜厚度增加，平均晶粒尺寸增加，形成大尺寸晶粒的连续薄膜，分析和讨论薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响。