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介绍近年发展起来的激光诱导沉积技术,包括激光化学气相沉积、激光物理气相沉积、激光增强电镀和激光诱导化学镀等。概述这些工艺的原理、方法及其应用前景。
激光诱导沉积技术及其应用
【摘 要】
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介绍近年发展起来的激光诱导沉积技术,包括激光化学气相沉积、激光物理气相沉积、激光增强电镀和激光诱导化学镀等。概述这些工艺的原理、方法及其应用前景。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1993年6期
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