【摘 要】
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在316L不锈钢上采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法沉积了氧化铝涂层。使用XRD、SEM分析氧化铝涂层的物相和微观形貌,采用气相氢渗透装置对涂层氢渗透行为进行表征。结果表明
【机 构】
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北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所
【基金项目】
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ITER“973”计划(2010GB113003)~~
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在316L不锈钢上采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法沉积了氧化铝涂层。使用XRD、SEM分析氧化铝涂层的物相和微观形貌,采用气相氢渗透装置对涂层氢渗透行为进行表征。结果表明,973 K退火处理后涂层为非晶氧化铝,涂层均匀、完整,厚度为190 nm。氧化铝涂层的氢渗透压力指数为0.56~0.78,说明氢渗透过程机制为表面过程和体扩散过程共同控制。氧化铝涂层的表观氢渗透率为P=1.99×10-6exp(-117×103/RT)mol/(m.s.Pa1/2)。氧化铝涂层的氢渗透激活能为117 kJ/mol,远高于316L不锈钢的66.6 kJ/mol,涂层对氢的渗透具有明显的阻挡作用。此外,在873~973 K氧化铝涂层对316L不锈钢的氢渗透阻挡因子(PRF)为59~119,涂层氢渗透阻挡性能优异。
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