【摘 要】
：
化学机械平坦化(chemical mechanical planarization,CMP)工艺处理Si02绝缘层是一种获得高度集成化超导电路的关键技术,尤其适合于多层堆叠约瑟夫森结阵列器件的平整化.设计了应用于热氧化生长的Si02薄膜和化学气象沉积生长的Si02薄膜的CMP工艺,得出两种薄膜的抛光速率分别为2 nm/s和3 nm/s,晶圆的全局材料去除高度差均在20 nm以内.并将CMP工艺应用到约瑟夫森结阵列的制作流程,结单元结构AFM高度轮廓扫描显示台阶高度由240 nm减小到约25 nm,其上的S
【机 构】
：
中国计量科学研究院前沿计量科学中心,北京102200
论文部分内容阅读
化学机械平坦化(chemical mechanical planarization,CMP)工艺处理Si02绝缘层是一种获得高度集成化超导电路的关键技术,尤其适合于多层堆叠约瑟夫森结阵列器件的平整化.设计了应用于热氧化生长的Si02薄膜和化学气象沉积生长的Si02薄膜的CMP工艺,得出两种薄膜的抛光速率分别为2 nm/s和3 nm/s,晶圆的全局材料去除高度差均在20 nm以内.并将CMP工艺应用到约瑟夫森结阵列的制作流程,结单元结构AFM高度轮廓扫描显示台阶高度由240 nm减小到约25 nm,其上的Si02绝缘层2×2μm2区域内的表面粗糙度为0.535 nm,提供了后续器件制备所需的工艺窗口.
其他文献
巢湖流域TP本底浓度偏高,降低水体TP含量可有效抑制巢湖蓝藻水华的暴发.污水处理厂尾水中的TP为巢湖总磷污染的重要来源之一,合肥市某污水处理厂极限除磷提标设计中,通过改造现有构筑物,新建高效气浮处理单元,将出水TP在0.3 mg/L降至0.05 mg/L以下,建设、运营管理方便.详细介绍了该厂提标改造的工艺路线、主要构筑物设计,可为其他类似工程的建设提供借鉴.
利用CFD软件fluent对氯化镁热解炉内气体流场进行数值模拟与仿真分析,得到炉气在热解炉内的速度流线图和温度分布云图.针对数值分析结果进行研究,与现有热解炉型进行对比并优化内部结构,使炉气在热解炉内流动更加均匀、原料在热解炉内反应更加充分,提高热解炉内气体利用率,降低能源消耗对环境的影响.优化的主要参数有:炉气进气口仰角、热解炉内壁预热温度和炉气进气口水平偏移量.模拟结果表明:适当增大炉气进气口仰角会升高热解炉内温度,最佳炉气进口仰角是45°;热解炉内壁预热温度是整个反应中影响热解炉内温度分布的重要因素
随着聚乙烯燃气管道在我国的大量使用,如何对其安全性能和使用寿命进行准确评价是需要解决的首要问题.由于国内尚未形成一套较为完善且合理的检验方法体系,加之当前技术手段与检测设备有限,造成聚乙烯燃气管道全面检验工作难度较大.本文立足省内实际情况,对聚乙烯燃气管道的失效原因及模式进行分析,基于失效分析来探讨全面检验技术并提出相关建议,有利于进一步提高检验质量,把好特种设备安全技术关.
针对渤海某稠油油田影响脱水因素进行了分析,同时结合脱水要因,评价开发出高效破乳剂并在现场成功应用.针对该油田筛选破乳剂关键因素为:首先要有较快的脱水速度,在自由水分离器中尽量多脱水;其次破乳剂须同步具备二次抗乳化功能,解决在油水搅动过程中产生乳化,避免外输泵喘振;最后破乳剂需要具备一定消泡功能,在自由水分离器和外输泵处协同脱气.
相比整数阶微积分,分数阶对一些具有记忆依赖性以及空间相关性的复杂系统的描述更简明与贴合.利用分数阶微积分的这一优点并结合广义郎之万方程阻尼具有幂律衰减特性,选择合理的核函数,将整数阶郎之万方程推广至分数阶.以此为理论基础,提出了一种分数阶双稳态随机共振系统的FPGA实现方法.对该系统进行了仿真实验验证,仿真结果表明:在调节至合适的分数阶阶数时,系统可以产生随机共振现象,有效提高微弱信号的信噪比,并且存在一个最优分数阶阶次,使得系统输出信噪比增益最大.
针对伊拉克某油田AG脱气站的油气水的特点,室内筛选出两种硅油类消泡剂,并进行了现场试验,试验结果表明,消泡剂X03适用于AG脱气站,推荐加药浓度为30 mg/L.消泡剂X10的测试结果不适用于AG脱气站,无法有效消除泡沫.消泡剂与产液体系的相容性对消泡性能影响很大.因此,针对含水量较少的原油脱气,宜采用二甲硅油类产品,利用聚醚改性后的硅油产品,增加了水中的分散性,反倒影响了消泡剂在体系中的扩散.
为克服气体涡轮流量计存在压损和需定期校准的缺点,研制了耐高压低功耗单声道气体超声波流量计.针对换能器因阻抗不匹配造成的回波信号质量差的问题,分析了回波信号的特征,提出了动态可变阈值和过零检测的数字信号处理方法.该方法可精准定位回波信号特征点.研制了以STM32为核心的低功耗气体超声波流量变送器.变送器采用了新的激励方式,既能防止MOSFET电路的两路输出同时导通,又节省激励功耗;采用脉冲累计发送和最优脉冲分频相结合的方式,减小脉冲上传误差.气体流量标定实验结果表明:研制的低功耗单声道气体超声波流量计满足1
以材料类专业课《复合材料学》为基础,将思政教育与复合材料学教学内容和方法有机结合,为进一步实现立德树人根本目标理清思路.将课程思政理念融入《复合材料学》的课程当中有助于培养具有家国情怀、创新精神和实践能力强的新世纪复合型优秀人才.同时对教师给学生传授知识、培养能力、塑造正确人生观的具有主要的指导作用,也会对教师师德、能力、作风的全方位高提升具有重要的借鉴意义.
针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案.基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,实现了 DDS合成参考信号与多普勒信号混频、低通滤波产生I&Q基带信号对,采用CORDIC算法对I&Q基带信号对反正切解调得到待测振动位移,实现了多普勒信号的实时解调.50～500 kHz范围的数值仿真和50～300 kHz范围的初步实验结果验证了设计方案的可行
企业是我国碳交易市场的主体交易者,由于在碳核查中大量使用缺省数据,造成排放量数据可信度下降,并且企业排放量数据的不确定度未曾评估.在对3个行业的6家企业进行了碳排放量实测后,使用蒙特卡罗法(MCM)不确定度评估方法对采用缺省值、实测值及两者组合计算得到的碳排放量数据进行不确定度分析研究.6家企业的平均计算结果表明,与全部采用缺省值相比,使用氧弹法实测低位发热量可以将排放量扩展不确定度降低9.0％;使用工业分析法实测低位发热量可将排放量扩展不确定度降低8.3％;同时实测低位发热量(氧弹量热法)和单位热值含碳