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引入了参数估计法对规则图形三维形貌测量中的关键问题：提高差分干涉系统横向定位准确度的方法进行了理论分析。仿真计算表明，在采用普通激光束径和工作台的条件下，系统横向定位准确度优于0.1 μm，同时系统的复杂性和造价大大降低。
参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用
【摘 要】
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引入了参数估计法对规则图形三维形貌测量中的关键问题：提高差分干涉系统横向定位准确度的方法进行了理论分析。仿真计算表明，在采用普通激光束径和工作台的条件下，系统横向定位
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院
【出 处】
：
宇航计测技术
【发表日期】
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2001年2期
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期刊
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