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本文介绍一种用于直接转换X光传感器的、尺寸为14in×8.5in、象素数为1536×2560的TFT阵列的制造及工作原理。讨论了高占空比AMLCD中的TFT矩阵在工艺及设计方面的类似性,它采用了一种低κ值的互连-隔离(inter-level)绝缘层以改善其特性。
直接转换X光数字传感器的高占空比TFT阵列
【摘 要】
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本文介绍一种用于直接转换X光传感器的、尺寸为14in×8.5in、象素数为1536×2560的TFT阵列的制造及工作原理。讨论了高占空比AMLCD中的TFT矩阵在工艺及设计方面的类似性,它采
【机 构】
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美国Planar系统公司,苹果计算机公司,GE医疗器械公司
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2000年01期
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