【摘 要】
：
AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的Al
【机 构】
：
浙江大学信息与电子工程学系; 绍兴出入境检验检疫局;
【基金项目】
：
国家自然科学基金重点项目资助(60936002)
论文部分内容阅读
AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的AlN薄膜。本文先概述了反应溅射的两个模型,然后综述了工艺参数包括溅射气压、溅射功率、氮气浓度、衬底温度、衬底种类、靶基距、薄膜厚度、衬底偏压、退火处理等对AlN薄膜生长和性能的影响。
其他文献
水印木刻是中国传统的版画形式，是具有独特的艺术表现性和审美特性的艺术门类。其艺术特性和国画有着诸多相似和相通的地方，然而在当代的人文审美环境下，大众对于水印木刻很陌生
目的探讨甲状腺全切除术在治疗甲状腺良性疾病首次手术治疗中的应用价值。方法 2011年2月~2013年2月我科收治的首次手术的甲状腺良性疾病肿患者76例,按不同术式分为甲状腺全
改革开放以来，伴随着我国农业和农村经济的长足发展，农产品的供、求关系发生了质的转变，农产品的供应由长期短缺发展变化为阶段性平衡。但是，农户小生产和大市场的矛盾却日渐突出
考试尤其是大规模的考试,自诞生之日起就承担着为社会选拔和筛选人才的功能。从社会学的角度看,考试这一选拔和筛选人才的功能实质上是社会分层和社会控制在教育活动中的具体
依托于各类网络通讯技术,互联网金融进入了高速运转的阶段,对传统的商业银行的运作和发展具有巨大的影响作用。本文旨在探究互联网金融发展的特点,及其对中国商业银行发展的
花境作为园林花卉的一种应用形式,以其植物种类丰富、季相变化明显、能充分发挥各类植物的生态习性、很好体现低碳园林理念的特点,受到我国园林营造者的推崇和广大市民的喜爱
就游泳而言,伸展练习与游泳训练同等重要。如果缺乏伸展练习,僵硬的肌肉就无法按要求完成动作,而且一旦开始训练,肌肉很快就会酸痛不适。经常做伸展练习可以改善肌肉的柔韧性
西方主要大国——美国、英国和日本在围绕1935年中国国民政府币制改革问题上由于各自的利益不同而表现出了不同的态度:美国政府对于中国的币制改革政策经历了由“不介入”的
<正>外事争端,古已有之,纵观古今战争,起源无非就是"攻城略池,坐享资源"。目光聚焦到2012年,南有菲律宾、越南,东有日本,这些国家在黄岩岛,西沙、南沙群岛,钓鱼岛等中国固有
以农村环境保护问题为研究对象,运用归纳、例证等方法对农村环境问题的危害、产生根源、解决措施进行分析.通过分析环境污染与生态破坏制约农业持续发展、威胁农民生命财产安