【摘 要】
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针对某型号LTCC带通滤波器产品中心频率往低频方向偏移了约50 MHz的问题展开研究。根据中心频率公式推测出可能导致中心频率偏移的工艺指标为电感线宽精度、介质层厚度、层间
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针对某型号LTCC带通滤波器产品中心频率往低频方向偏移了约50 MHz的问题展开研究。根据中心频率公式推测出可能导致中心频率偏移的工艺指标为电感线宽精度、介质层厚度、层间对位精度。对滤波器样品进行剖切、测试,提取这些工艺参数,然后在HFSS仿真软件中进一步分析这些参数对该滤波器模型中心频率的影响,最终确认导致滤波器中心频率偏移的关键因素为电感线宽偏差。对电感线宽进行纠偏,使产品中心频率等工艺指标与设计值相统一,最终使产品中心频率的偏移由50 MHz优化到5 MHz。
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