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稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用
稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用
来源 :中国工程物理研究院科技年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:degr5
【摘 要】
:
相对于宏观机械系统,微电子机械系统(Micro—Electro—Mechanical.Systems,MEMS)器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异(通常是由于加工误差引起的)更敏感。因此在MEMS器件设计阶
【作 者】
:
周浩
【出 处】
:
中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
:
2011年1期
【关键词】
:
结构参数设计
稳健设计
微机械陀螺
微电子机械系统
MEMS器件
SYSTEMS
应用
产品性能
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相对于宏观机械系统,微电子机械系统(Micro—Electro—Mechanical.Systems,MEMS)器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异(通常是由于加工误差引起的)更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健(robust)设计可以有效抑制产品性能的波动。
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