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本文介绍非1/4波长多层滤光片的宽带光学监控方法和实验装置,品质函数的计算,厚度误差的修正及电子计算机在膜厚控制中的应用。
非1/4波长多层滤光片的宽带光学监控及厚度误差的修正
【摘 要】
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本文介绍非1/4波长多层滤光片的宽带光学监控方法和实验装置,品质函数的计算,厚度误差的修正及电子计算机在膜厚控制中的应用。
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2004年期
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