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利用拉曼光谱研究了He^2＋ 注入六方SiC晶体样品时的损伤缺陷随注量的变化关系，并采用直接碰撞/缺陷模拟模型与多级损伤累积模型，模拟了室温及723，873，1 023 K 下晶体样品的无序度随注量的变化关系。测试结果表明：随着注量的增加，晶体样品无序度增大，样品的拉曼特征峰强度减小。
He2+注入六方SiC晶体损伤效应的拉曼光谱研究
【摘 要】
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利用拉曼光谱研究了He^2＋ 注入六方SiC晶体样品时的损伤缺陷随注量的变化关系，并采用直接碰撞/缺陷模拟模型与多级损伤累积模型，模拟了室温及723，873，1 023 K 下晶体样品的无序度
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,中国科学院大学,兰州大学核科学与技术学院
【出 处】
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现代应用物理
【发表日期】
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2018年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(11475229)
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