Influence of coating material on laser damage threshold of TiO_2 films

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The optical property,structure,surface properties(roughness and defect density)and laser-induced dam- age threshold(LIDT)of TiO_2 films deposited by electronic beam(EB)evaporation of TiO_2(rutile),TiO_2 (anatase)and TiO_2+Ta_2O_5 composite materials are comparatively studied.All films show the polycrys- talline anatase TiO_2 structure.The loose sintering state and phase transformation during evaporating TiO_2 anatase slice lead to the high surface defect density,roughness and extinction coefficient,and low LIDT of films.The TiO_2+Ta_2O_5 composite films have the lowest extinction coefficient and the highest LIDT among all samples investigated.Guidance of selecting materials for high LIDT laser mirrors is given. The optical property, structure, surface properties (roughness and defect density) and laser-induced dam age threshold (LIDT) of TiO_2 films deposited by electronic beam (EB) evaporation of TiO_2 (anatase) and TiO_2 + Ta_2O_5 composite materials are comparatively studied. All films show the polycrys-talline anatase TiO_2 structure. The loose sintering state and phase transformation during evaporating TiO_2 anatase slice lead to the high surface defect density, roughness and extinction coefficient, and low LIDT of films.The TiO_2 + Ta_2O_5 composite films have the lowest extinction coefficient and the highest LIDT among all samples investigated. Guidance of selecting materials for high LIDT laser mirrors is given.
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