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表面工程提高材料摩擦磨损、耐腐蚀性能的同时，还赋予材料新的表面功能，为解决人类发展中遇到的资源、能源等问题起到了不可替代的重要作用。作为表面工程领域的重要分支，我国亟需提升物理气相沉积（PVD）的技术能力。
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【摘 要】
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表面工程提高材料摩擦磨损、耐腐蚀性能的同时，还赋予材料新的表面功能，为解决人类发展中遇到的资源、能源等问题起到了不可替代的重要作用。作为表面工程领域的重要分支，我国亟
【机 构】
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中科院网站
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2015年2期
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