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北方华创科技集团股份有限公司（北方华创）及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司（北方华创微电子）收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目经费资金9，423．00万元、
北方华创三大集成电路项目收获国家专项资金
【摘 要】
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北方华创科技集团股份有限公司（北方华创）及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司（北方华创微电子）收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2017年6期
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