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综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理，结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。
电容式微加速度传感器的现状及研究方向
【摘 要】
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综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理，结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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1998年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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