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基于3种不同曲率半径压头针尖对熔融石英进行纳米压入，用原子力显微镜（AFM）直接法测得压头针尖的面积函数及针尖曲率半径。研究表明，在极浅压入条件下，压头曲率半径的变化会导致硬度值的测量误差，曲率半径越小的压头针尖随接触深度的变化会更快得到真实值；相同的压入深度，曲率半径小的压头针尖测得的压入硬度值比曲率半径大的测得的压入硬度值更接近其真实值。