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介绍电子显微镜中极靴零件φ１小孔和平面的精密加工方法。
电子显微镜极靴小孔及平面的精密加工
【摘 要】
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介绍电子显微镜中极靴零件φ１小孔和平面的精密加工方法。
【机 构】
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上海工业大学,上海电子光学技术研究所200072
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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1994年5期
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