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六氟乙烷的制备及纯化方法概述

来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mailnewsnow

【摘 要】

：

六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。

【作 者】

：

杜汉盛 

【机 构】

：

佛山市华特气体有限公司

【出 处】

：

低温与特气

【发表日期】

：

2013年03期

【关键词】

：

六氟乙烷 制备 纯化 HFCs 含氯化合物 

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六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。

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