【摘 要】
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分析了通过不同方法加工获得的表同的波纹度，初步探索了波纹度产生的原因，并提出了减小抛光中波纹度的方案。
The same waviness obtained by different methods was analyzed
【机 构】
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应用光学国家重点实验室,超精密加工技术国防科技重点实验室
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分析了通过不同方法加工获得的表同的波纹度，初步探索了波纹度产生的原因，并提出了减小抛光中波纹度的方案。
The same waviness obtained by different methods was analyzed. The reason of waviness was preliminarily probed and the solution to reduce the waviness in polishing was proposed.
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