【摘 要】
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通过溶胶．凝胶和真空热处理工艺在石英基底上制备了二氧化钒薄膜，对制备出的薄膜进行了x射线衍射及x射线光电子能谱分析，结果表明所制备出的薄膜价态单一，纯度较高，薄膜为多晶态，晶
【机 构】
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国防科技大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室
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通过溶胶．凝胶和真空热处理工艺在石英基底上制备了二氧化钒薄膜，对制备出的薄膜进行了x射线衍射及x射线光电子能谱分析，结果表明所制备出的薄膜价态单一，纯度较高，薄膜为多晶态，晶粒尺寸约为27nm。利用红外热像仪拍摄了薄膜在不同温度下的红外热图并计算了发射率，结果表明二氧化钒薄膜7．5-14um波段发射率在相变时发生突变，突变量可达0．6，具有优异的热致变发射率性能，在红外自适应伪装等领域应用前景广阔。
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