【摘 要】
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自从半导体器件问世以来,半导体表面的钝化和保护一直是人们极为关注的问题.表面钝化技术已成为半导体工艺领域里的支柱.对于台面功率器件,如何保护好CB结暴露在外面的台面部
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自从半导体器件问世以来,半导体表面的钝化和保护一直是人们极为关注的问题.表面钝化技术已成为半导体工艺领域里的支柱.对于台面功率器件,如何保护好CB结暴露在外面的台面部分,是个尤为突出的问题,已耗去了人们巨大的精力.目前已发展有SiO2钝化,非晶硅钝化、、多晶硅钝化、氮化硅钝化、磷硅玻璃钝化、玻璃钝化和聚酰亚胺钝化等多种方法.其中聚酰亚胺钝化,无需复杂的设备,成膜容易,工艺简单,而且这种钝化膜具有优良的热稳定性、化学稳定性、耐水性、电绝缘性、热膨胀系数小,与铝膜粘附力强、耐辐射.为此我们尝试用聚酰亚胺作为功
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