【摘 要】
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中科院上海微系统与信息技术研究所通过引入气态催化剂的方法，实现了石墨烯单晶在六角氮化硼表面的高取向、快速生长。该所自2011年起开展在六方氮化硼衬底上外延生长石墨烯单
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中科院上海微系统与信息技术研究所通过引入气态催化剂的方法，实现了石墨烯单晶在六角氮化硼表面的高取向、快速生长。该所自2011年起开展在六方氮化硼衬底上外延生长石墨烯单晶及其结构和性能的表征工作。他们在前期掌握石墨烯形核控制、确定单晶和衬底取向关系的基础上，以乙炔为碳源，创新性地引入硅烷作为催化剂，通过化学气相外延的方法制备晶畴尺寸超过20μm的石墨烯单晶，生长速率较之前文献报道的提高了两个数量级，使气相催化在石墨烯制备上取得突破。该研究已经申请专利。
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