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期刊论文
MOS气体传感器中的掺杂作用
MOS气体传感器中的掺杂作用
来源 :贵金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haoxiaoye
【摘 要】
:
讨论各种掺杂剂在MOS气体传感器中的作用,并详细介绍SnO_2气体传感器中的掺杂剂。
【作 者】
:
易惠中
【出 处】
:
贵金属
【发表日期】
:
1992年3期
【关键词】
:
半导体传感器
气体探测器
掺杂
Semiconductor?sensor
Gas detectors
Doping
Advancement
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讨论各种掺杂剂在MOS气体传感器中的作用,并详细介绍SnO_2气体传感器中的掺杂剂。
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