【摘 要】
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美国的几种微电子工艺设备①OAI公司的J5000型高分辨率掩膜对准曝光系统.该设各可以应用的主要场合如下:砷化镓场效应器件,薄膜混合集成电路,微波混合集成电路,声表面波器件,薄膜磁头器件,多
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美国的几种微电子工艺设备①OAI公司的J5000型高分辨率掩膜对准曝光系统.该设各可以应用的主要场合如下:砷化镓场效应器件,薄膜混合集成电路,微波混合集成电路,声表面波器件,薄膜磁头器件,多层布线厚膜电路及高密度组装印制板.其光刻分辨率为0.5μm。...
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