【摘 要】
：
为了制备高质量氮化硅薄膜,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)进行氮化硅的气相沉积,讨论了工艺参数对薄膜性能的影响,验证设备工艺均匀性和批次间一致性。通过高低频交替
【机 构】
：
华中科技大学武汉光电国家研究中心,武汉晴川学院
【基金项目】
：
国家自然科学基金(61335002)
论文部分内容阅读
为了制备高质量氮化硅薄膜,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)进行氮化硅的气相沉积,讨论了工艺参数对薄膜性能的影响,验证设备工艺均匀性和批次间一致性。通过高低频交替生长低应力氮化硅薄膜,并检测薄膜应力,对工艺进行了优化,探索最佳的高低频切换时间。研究了PECVD氮化硅薄膜折射率、致密性、表面形貌等性质,制备出了致密的氮化硅薄膜。研究结果表明,PECVD氮化硅具有厚度偏差小、折射率稳定等特点,为其在光学等领域的应用打下了基础。
其他文献
在过去的十年时间里，有关传统印刷和数字印刷之间关系的讨论一直是激烈有加，但最近一段时间里这种争论渐趋平静。原因就是通过print’05和Label Expo等行业展会，使人们认识到一
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
疾病的发生往往伴随着炎症反应,并进一步加剧病情,因此炎症研究对疾病的控制和治疗有重要意义。受体相互作用蛋白3（RIP3）是炎症反应的关键分子,在炎症的发生、发展过程中起到重
目的 观察美能联合拉米夫定治疗E抗原阳性的慢性乙型肝炎的效果。方法 将90例慢性乙型肝炎患者随机分成美能联合拉米夫定组（治疗）49例。美能组（对照）41例，疗程均为6个月．观察临床症
全球经济衰退，报业面临严峻挑战，有的国家迫使政府出面救济。像法国政府就出资9000万美元．资助报纸与杂志的分派费用，同时也增加在印刷媒体的广告支出，另外给满十八岁的青年一份生
JJG539-97《数字指示秤》检定规程已于1998年3月1日正式施行。但笔者在按该规程进行检定的过程中,觉得该规程存在一些操作上的可行性问题。本文想就笔者遇到的几个问题进行讨
针对农业网页中汉字编码标识混乱的情况,提出了一种综合运用编码规则和网页文本特征的字符编码识别模型。利用卡方检验算法,结合最小二乘多元线性回归方法,得到了基于网页文
病例26岁，因“停经36”周，反复右上腹包块2个月，腹阵痛7小时”，于2007年2月27日入院。患者平时月经正常，末次月经：2006年6月17日；预产期：2007年3月24日。孕7个月时无诱因反复出现右上
目的探讨2型糖尿病肾病患者血清IL-2、IL-6水平的变化及其在2型糖尿病肾病病理生理中的作用。方法应用放射免疫法对35例2型糖尿病肾病患者、40例2型糖尿病非肾病患者及36例正
目的探讨艾滋病的临床及血液学特点。方法总结在我院确诊并有详细血液学资料的14例患者,分析其临床表现、免疫功能及血液学特点。结果14例患者中发热10例(71.4%),淋巴结肿大6