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该文针对微传热学及其热分析给出一个理论描述，以期促进ＭＥＭＳ设计理论及研究方法的发展，适应设计与制造技术趋于一体化研究的需要。
微机电系统中热分析的几个问题
【摘 要】
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该文针对微传热学及其热分析给出一个理论描述，以期促进ＭＥＭＳ设计理论及研究方法的发展，适应设计与制造技术趋于一体化研究的需要。
【机 构】
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电子科技大学电子机械学院
【出 处】
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第二届全国电子设备热设计专题学术会议
【发表日期】
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1999年5期
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