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本文介绍了一种用于微结构干法释放的HF气相刻蚀技术。通过调节工艺参数（包括腔体压力,HF流量,乙醇流量,氮气流量）研究其对二氧化硅刻蚀速率和均匀性的影响,得到刻蚀速率在500魡/min左右,均匀性5%左右的工艺菜单。该技术运用于MEMS加速度计中,成功实现了梳齿结构和质量块的无粘连释放。
HF气相刻蚀技术及其在MEMS加速度计中的应用
【摘 要】
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本文介绍了一种用于微结构干法释放的HF气相刻蚀技术。通过调节工艺参数（包括腔体压力,HF流量,乙醇流量,氮气流量）研究其对二氧化硅刻蚀速率和均匀性的影响,得到刻蚀速率在500
【机 构】
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杭州士兰集成电路有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2016年4期
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