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期刊论文
MOS晶体管VT成品率与沟道长度的关系
MOS晶体管VT成品率与沟道长度的关系
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qianxiaojiong
【摘 要】
:
本文用Monte Carlo法模拟计算短沟MOSFET阈值电压V_T的成品率。当沟道变短,由于短沟道效应产品的V_T值变得更加分散。此外,当沟道长度L进入亚微米区,源漏的耗尽区可能在沟道
【作 者】
:
赵鸿麟
【机 构】
:
天津大学电子工程系
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1990年6期
【关键词】
:
MOS晶体管
VT成品率
沟道长度
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本文用Monte Carlo法模拟计算短沟MOSFET阈值电压V_T的成品率。当沟道变短,由于短沟道效应产品的V_T值变得更加分散。此外,当沟道长度L进入亚微米区,源漏的耗尽区可能在沟道中相接或重迭而使沟道消失。上述二个原因使V_T的成品率下降。
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