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本文采用紫外固化胶将光纤、Silica基阵列波导光栅(AwG)、1310nm激光器(LD)平台和1490nm、1550nm探测器(PD)平台混合集成为一新型单纤三向器(Triplexer)。其中,LD平台是由1310nmLD、薄膜匹配电阻和50欧微带线(MSL)构成;PD平台是由两部分电路组成,一部分是由1490nmPD、1.25Gb/s的跨阻放大器(TIA)和50欧MSL构成,另一部分是由1550nmPD和50欧MSL构成。两个平台的基底都采用了镀金的硅片。小信号测试结果表明,LD在偏置电流为15mA时