【摘 要】
：
以超白玻璃为衬底，采用热丝化学气相沉积法沉积初始非晶硅膜，经自然氧化形成二氧化硅层，最后利用磁控溅射法在不同衬底温度下沉积铝膜，制备了glass／Si／SiO2／Al叠层结构并对其进行铝
【机 构】
：
南京航空航天大学材料科学与技术学院
论文部分内容阅读
以超白玻璃为衬底，采用热丝化学气相沉积法沉积初始非晶硅膜，经自然氧化形成二氧化硅层，最后利用磁控溅射法在不同衬底温度下沉积铝膜，制备了glass／Si／SiO2／Al叠层结构并对其进行铝诱导晶化形成多晶硅薄膜。用X射线衍射，光学显微镜和拉曼光谱对样品进行了分析。结果表明，铝诱导晶化制备的多晶硅薄膜的晶粒大小随着铝膜沉积温度的升高而变小，且晶化能力及结晶质量也逐渐变差，当铝膜沉积温度升高至200℃以上时甚至不发生铝诱导晶化现象。
其他文献
我国进入21世纪以来，对节能减排这个全球热点话题尤为关注，一个以清洁、高效、无污染的核能成为开发利用热点，核电产业全面复苏。在核电发展热潮推动下，核电设备制造业迎来了历史
事业单位基建项目的会计核算一个与基本建设项目同步展开、同步进行的会计核算过程,具有独立核算、时间跨度大、中间环节多、涉及事项杂等特点。做好事业单位基建项目的会计
本文对高等职业院校科研经费管理现状中存在的问题进行了阐述，并对存在的问题提出了相应对策。
安徽省太湖县羊河水电站水轮机型号为XJ02-W-40/1×11,配SFW250-6/740型发电机,TFKL型晶闸管励磁装置。2台水轮发电机组总装机容量500kW,1992年建成投产并入太湖县电网,
一名狠毒的妇人只因与丈夫发生争吵,就亲手将自己的两名亲生幼儿活活掐死。当她作为杀人嫌疑犯被刑摹拘留时,她却说:“我太爱我的两个小孩,我怕自己死后,我丈夫和他的家人对
一般农村住房每家都不相邻，低压接户线引自各户墙头，电能表装在墙头铁下方，用户进户管一般就在墙头铁附近。平常的安装方法就是接户线入电能表．电能表中出两根线进入用户室内。
近日，安徽省凤阳供电公司员工在电力线路巡视中发现，一条110kV出线线路下铺有大面积苗圃遮阳棚。据凤阳供电公司安全保卫部介绍：这一违章搭建属典型的违章行为，在线路下有大面积
当前电力营销工作中,窃电属于发生较多的法律纠纷,且此类纠纷易反弹、反复,费事费时。而严峻的现实也告诉我们,窃电给供电企业造成的损失是巨大的,供电企业要生存和发展,必须
广东烧鸭、挂炉鸭都属烤鸭,但在烧烤方法上是不同的。烧鸭是广东特产,皮香肉甘骨软,为佐膳佳品。挂炉鸭每次只能烧一只,较费事,其特点是皮很松脆,以现吃现制为好。 烧鸭制作
为了解决传统的微带线低通滤波器尺寸偏大,阻带较窄的问题,采用阶梯阻抗谐振（SIR）单元加载哑铃型缺陷地结构（DGS）单元设计了一个五阶微带低通滤波器,并通过在主传输线两侧添加并