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用Nano Indenter Ⅱ对硼化铪/石英和硼化铪/硅等膜/基结构进行纳米压入测量.通过对测得的载荷-位移曲线进行处理,得到硼化铪涂层的弹性模量为188.78GPa.实验表明,较软基底对测量结果的影响较大,所得的评定值失真,用KING提出的评定模型也未获得较好的结果.因此,最大压入深度应在保证压头尖钝化和薄膜表面质量对测量结果影响不太大的情况下尽量减少最大压入深度.