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通过对振动阴极反应室的研究，针对粉粒与金属阴极接触的问题，提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈，振动石英管内部放电的方式进行刻蚀。既有振动阴极反应室的效果，又避免掺入杂质，是一种可行的新反应室设计。
等离子振动反应室的研究
【摘 要】
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通过对振动阴极反应室的研究，针对粉粒与金属阴极接触的问题，提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈，振动石英管内部放电的方式进行刻蚀。既有振动阴极反应室的效果，又避免掺入
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2007年A10期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10475029）
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