氧化钛电阻存储薄膜的电学性能研究

来源 :合成材料老化与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kary_yeah
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采用溶胶凝胶法制备氧化钛薄膜,测试其电学性能,测试结果表明,氧化钛薄膜具有电阻反转特性,但重复性不稳定。使用原子力显微镜在微观状态下观察可知,随着施加电压的增大,表面析出物的量会增加,其影响薄膜的电学性能测试,会导致薄膜测试处的顶电极破坏使整个样品击穿;但表面析出物为何种物质,有待进一步研究。
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